台湾清大半导体学院揭密 打造小型晶圆厂练兵

台湾为延续半导体优势地位，在全台成立4个半导体学院，其中由中研院院士林本坚领导的清华大学团队是佼佼者，除拥有豪华师资阵容外，隐藏在后山的奈材中心实验室，大手笔购置了许多仪器，如同一座小型晶圆厂，成为练兵秘密基地。

据中央社报导，台湾有4个半导体学院，除清大半导体学院外，其他3所包括台大“重点科技研究院”、阳明交大“产学创新研究学院”、成大“智慧半导体及永续制造学院”。今年2月，清大半导体学院已有少部分学生提前入学，并于9月全面开学上课。

办公桌、柜子、沙发，几乎将整个空间塞满，屋内没有对外窗，宛如鞋盒外型的空间，很难相信这是外界誉称台积电“研发6骑士”之一的林本坚目前在清华大学半导体学院的办公室。林本坚是越南侨生，靠着优秀的研究头脑，一路读书都很顺遂。他在台积电地位崇高，和前资深研发处长梁孟松、杨光磊、前营运长蒋尚义、前技术长孙元成、前研发副总经理余振华等6人，被誉为台积电“研发6骑士”。

清大半体学院去年刚成立，学院大楼还在兴建中，林本坚只好暂时窝在没有窗户的简陋办公室，昔日业界同僚来访时惊讶直呼“你怎么在鞋盒里办公？”林本坚却不以为意。专访当天，他兴致勃勃向记者展示他放在电脑前，自制的护眼投影幕；这位被誉为“浸润式微影之父”的大师，眼中流露的尽是科学家发明的热情。

他20年前在台积电担任研发处长时，以浸润式微影技术，成功把摩尔定律推进6个世代；20年后，产业面临空前的人才困境，80岁的林本坚再次扛下重担，出任清大半导体学院院长，成为台湾半导体护国神山群的坚强后盾。

被誉为半导体界爱因斯坦的他，是美国国家工程学士、中研院院士，为何不像其他台积电退休高层，周游列国享福，却要亲自出马做这样吃力的工作？他仅淡淡地说“我觉得这好像是我应该做的事情。”

美中贸易战、COVID-19（中共病毒）疫情扰乱全球政经局势，却也意外让半导体产业迎来“超级景气循环周期”，企业满手订单、获利频频创高，气势如日中天。不过，产业大老未见喜色，反而频频示警、投书媒体，疾呼政府应正视半导体人才荒困境。林本坚指出，地缘政治掀起的在地生产趋势，恐让人才荒严重程度膨胀数倍。

林本坚自台积电退休后就在清大任教，去年在清大校长贺陈弘邀请下，出任清大半导体学院院长，“我在半导体、微影领域里面差不多累积50年经验，有机会把这个传给下一代，是很好的事情。”本着传承与回馈的精神，林本坚毅然决然地在80岁这年，交付自己新的任务，即培育半导体产业的“活才”。

林本坚说明，要培育学生成为领导者，必须先让学生练就特定领域的研究本领成为“专才”；而半导体科技讲究互助合作，得了解其他各部的语言、理论，因此需要“通才”；但要能开创新的方向和领域、让人追赶，就得是位“活才”才能办到。