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中美芯片冲突的关键机器:光刻机

中美芯片冲突的关键机器:光刻机

The New York Times
Saturday, October 28, 2023 12:48:19 AM UTC

美国继续收紧对华芯片技术出口,新规导致一些使用最先进技术的光刻机无法运往中国。新的出口管制将主要影响荷兰和日本的先进光刻机制造商,尤其是荷兰公司ASML。

这些设备从外表看是光滑的白色箱子,体积与大型货车相当,如今,它们是美中技术冲突的要害所在。

随着美国试图减缓中国在可能有助于提高其军事能力的技术方面取得进步,将错综复杂的电路印到计算机芯片上的复杂光刻机已成了一个关键的钳制点。

虽然这些光刻机是中国发展本国芯片制造业的重要组成部分,但中国尚不具备制造它们的技术,至少不具备制造最先进光刻机的技术。美国官员上周采取了限制中国实现半导体制造目标的步骤,禁止全球的公司向中国出口更多类型的芯片制造机器,除非得到美国政府的特别许可。

此举可能给中国的芯片制造雄心带来重大打击。这也是美国对其监管权力不同寻常地使用。美国官员认为,只要在美国境外制造的设备上有一个美国制造的零件的话,他们就能对其进行监管。

这项决定让美国官员对荷兰和日本的公司有了新的控制力,一些最先进的芯片制造设备正是来自这两个国家。具体来说,美国的规定将导致一些使用深紫外技术的设备无法运往中国,该技术主要由光刻机市场占主导地位的荷兰公司ASML制造。

荷兰智库克林亨达尔国际关系研究所的中国问题研究员何森璱(Vera Kranenburg)表示,虽然ASML已明确表示将遵守这些规定,但美国此前禁止其向中国出口更先进光刻机的规定已经令它感到恼火。

“他们当然对这些出口管制不满,”她说。

再次被卷入地缘政治之后,ASML在回应的时候始终保持着谨慎,公司上周在一份声明中表示,遵守业务所在国的所有法律法规。首席执行官彼得·温宁克称,公司将无法再把某些工具运往“少数”中国芯片工厂。但他补充说,“我们2023年卖出去的设备仍将发货,只是2024年我们不能再卖了。”

荷兰外贸与发展合作大臣莉谢·施赖纳马赫在一份声明中表示,荷兰与美国有同样的安全担忧,并在不断与美国交换信息,但“最终,每个国家将自行决定采取哪些出口限制措施”。她指出,荷兰政府已在今年6月宣布了更宽松的措施。

美国商务部发言人拒绝就本文置评。

ASML的技术让全球计算能力实现了飞跃。ASML光刻机有数万个零部件,每台售价高达数亿美元,光刻精度的不断提高使得芯片上的电路越来越小,从而让芯片制造商能将更多的计算能力集成到一个微小的硅片上去。

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